一、项目名称：

耐高温微型压力传感器

二、承担单位：

西安交通大学

三、项目内容：

本产品主要用于高温环境下的压力测量，并解决了瞬时高温冲击问题，如测量航空、航天发动机燃烧室在启动、停车、不稳定燃烧期间各种瞬变压强，石油化工领域各类反应釜、冶炼塔、采油井下的压力测量，能源电力、军用火工品等特种环境条件下的压力测量等。

本产品采用基于SOI（硅隔离）技术的固态浮雕式压阻力敏芯片和新型的梁膜结构，使SOI耐高温压力传感器可用于200℃以上高温及高频响等恶劣条件下的压力测量，并能承受≥1000℃的瞬时高温冲击。

目前国内市场对工作温度200～400℃，并能承受≥1000℃的瞬时高温冲击的耐高温微型压力传感器年需求总量4亿元，同时还可带动数亿元的测控仪器及系统市场，直接和间接经济效益将相当可观。

获2006年国家技术发明二等奖。

四、项目总投资及合作方式：

项目总投资：500万元

合作方式：商谈确定

    项目联系人： 沈利剑

联系方式：

    电话：029-82668977

地址：陕西省西安市咸宁西路28号

    邮编：710049

    E-mail：xmb977@xjtu.edu.cn